Como usar a almofada de polimento?

Atualmente, o polimento mecânico químico é amplamente utilizado no processamento de planarização interlayer de bolachas de substrato e fiação multicamada. A almofada de polimento é uma parte importante do sistema químico de polimento mecânico (CMP). Tem as funções de armazenar o líquido de polimento e transportá-lo para toda a área de processamento da peça de trabalho. Então, como usar oalmofada de polimento?

Aqui está a lista de conteúdo:

l Qual é a composição do material de polimento?

l Qual é o mecanismo da almofada de polimento?

Como usar uma almofada de polimento para mármore polonês?

Qual é a composição do material de polimento?

O equipamento e os consumíveis utilizados no processo CMP incluem: máquina de polimento, líquido de polimento, almofada de polimento, equipamento de limpeza pós-CMP, polimento de detecção de endonto e equipamento de controle de processo, tratamento de resíduos e equipamentos de detecção, etc. Entre eles, os materiais CMP incluem principalmente o polimento Fluidos, almofadas de polimento, reguladores, limpeza da CMP, e outros consumíveis, enquanto os fluidos de polimento e almofadas de polimento representam mais de 80% do segmento de mercado de material CMP e são os materiais principais do processo CMP.

O desempenho da almofada de polimento é afetado por fatores como suas propriedades materiais, estrutura de superfície, forma de sulco de superfície e temperatura de trabalho. Entre esses fatores de influência, a forma de sulco de superfície e o tamanho da almofada de polimento é um dos principais parâmetros do desempenho da almofada de polimento, que afeta diretamente a distribuição e o movimento do líquido de polimento na área de polimento, e afeta a distribuição de temperatura. da área de polimento. A almofada de polimento também é uma espécie de consumível, que deve ser substituída no tempo. Para a almofada de polimento que não é substituída há muito tempo, o resíduo do material removido pelo polimento permanecerá facilmente nele e causará arranhões na superfície da peça de trabalho. Ao mesmo tempo, se a almofada de polimento após o polimento não for limpa no tempo, os sólidos aderidos à almofada de polimento após a secagem de ar afetarão a qualidade do próximo polimento.

Qual é o mecanismo da almofada de polimento?

A almofada de polimento depende do objeto a ser polido para se mover sob pressão na superfície para gerar uma pressão negativa para que o líquido de polimento inicialmente presente nas aberturas da superfície a ser polido flui entre a superfície.

Como usaraalmofada de polimento para mármore polonês?

Mármore é uma espécie de rocha metamórfica, e sua dureza, vida útil, cor e textura pode variar muito. Usando uma almofada de polimento de diamante de mármore para polimento úmido é a primeira escolha ideal para o mármore de polimento.

(1) Coloque a telha de mármore ou a laje na bancada de trabalho e aperte-a para garantir que não se mova durante a moagem ou polimento. Se o mármore é muito poroso, é recomendável cobri-lo com fita adesiva.

(2) Conecte a almofada de apoio à máquina de polimento úmido, certificando-se de fechá-la antes da instalação. Agora você pode iniciar o processo de polimento, abrir o kit de polimento de mármore de diamante e começar com a almofada de polimento de 50 grãos. Stick 50 grãos de areia no velcro da placa de apoio, e lentamente ligue a máquina de polimento úmido. Comece a máquina de polimento a uma velocidade baixa e comece a polir as bordas do mármore e não exceda quatro a cinco vezes. Com grãos abrasivos mais baixos, muitas iterações podem moer mais do que o necessário sem aumentar qualquer valor da superfície polida.

(3) Certifique-se de que cada parte de superfície é polida com cascalho e, em seguida, mova-se para maior cascalho. Quaisquer áreas não polidas com menor grão resultarão em brilho subtualizado. Uma boa maneira de garantir que cada parte da borda seja polida é limpar a superfície da borda com uma toalha molhada levemente espremida e seca-a. O calor evaporará a água polida. Certifique-se de que a água inteira evapora e, em seguida, execute uma rodada de polimento úmido. Depois de toda a superfície é polida, mude para o próximo cascalho mais alto.

(4) Continue e use o kit de polimento de mármore de diamante para repetir esses processos de menor grão para maior grão até que o acabamento desejado seja obtido.

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