Para completar o processo de polimento, devemos realizar a configuração básica. Além de preparar a máquina de polimento, devemos também preparar a almofada de polimento. Há muitas classificações de polimento, materiais diferentes e cada um tem seus pontos fortes. Eles podem ser usados ​​no polimento

Atualmente, o polimento mecânico químico é amplamente utilizado no processamento de planarização interlayer de bolachas de substrato e fiação multicamada. A almofada de polimento é uma parte importante do sistema químico de polimento mecânico (CMP). Tem as funções de armazenar o líquido de polimento e transportes

Almofadas de polimento também são chamadas de peles de polimento, panos de polimento, almofadas de polimento, e são importantes materiais auxiliares que determinam a qualidade da superfície em polimento mecânico químico. As almofadas de polimento podem ser divididas em almofadas de polimento abrasivas e almofadas de polimento não abrasivas de acordo com